Общие сведения о Центре

Центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур» создан при Ярославском госуниверситете 1 ноября 2006 г., приказ №382, решение Ученого совета ЯрГУ от 24.10.2006 г.

Центр входит в национальную нанотехнологическую сеть.

Общие сведения о Центре (.pdf)

Буклет Центра (.pdf)

Программа развития Центра_2017-2021 (.pdf) 

Регламент работы Центра 2018 г. (.pdf)

Изменение прейскуранта стоимости выполнения научных исследований на оборудовании ЦКП "ДМНС" по приказу ЯрГУ им. П.Г. Демидова от 18.01.2021г. (.pdf)

Перечень научного оборудования Центра коллективного пользования (.pdf)

Центр является участником мероприятий Федеральных целевых программ:

  • Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы.
  • Научные и научно-педагогические кадры инновационной России.
  • Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы.

Центр расположен на площади ~ 1000 м2, общая численность персонала — 41 человек, в том числе: докторов 7, кандидатов наук 12, аспирантов 1, студентов 10.

Объем научно-исследовательских работ:

за 2008 - 2011 г.г. — 347,856 млн. руб;

за 2012 - 2017 г.г. —  420,602 млн. руб.

Центр располагает самым современным аналитическим и диагностическим оборудованием для выполнения следующих видов работ:

  • Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторских разработки в области микро- и наноэлектроники;
  • Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области микро- и наносистемной техники:
    • глубокое анизотропное плазмохимическое травление (Plasmalab 100)
    • двухсторонняя литография (SUSS MJB4)
  • Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области химических источников тока (совместно с ИФХЭ РАН):
    • изготовление тонкопленочных нанокомпозитных анодов (Оратория 22 с системой РРГ MKS)
    • изготовление тонкопленочных нанокомпозитных катодов (Оратория 5 с системой РРГ MKS)
  • Диагностика микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов.
  • Заказной анализ широкого класса объектов методами:
    • вторичной ионной масс-спектрометрии (IMS-4F);
    • времяпролетной ионной масс-спектрометрии (IONTOF SIMS5);
    • электронной сканирующей микроскопии (Supra 40);
    • туннельной сканирующей микроскопии (GPI-Cryo-SEM);
    • электронно-ионной сканирующей микроскопии (Quanta 3D 200i);
    • просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
    • зондовой микроскопии (СММ 2000) и профилометрии (модель 130);
    • обратного резерфордовского рассеяния (К2МV);
    • оже-спектроскопии (PHI-660);
    • ИК фурье-спектроскопии (IFS 113-v);
    • рентгеноструктурного анализа (ARL X'tra);
    • Рамановской спектрометрии (EnSpector R532);
    • оптической цифровой микроскопии (Keyence VHX-2000);
    • газо-адсорбционной порозиметрии (Thermo Scientific SURFER);
    • измерения характеристик солнечных элементов (Oriel I-V);
    • измерения характеристик матричных фотоэлементов (модель АЧТ M345X-LC);
    • циклической вольтамперометрии (многоканальный потенциостат-гальваностат P-20X8);
    • циклической вольтамперометрии (АЗРИВК10-0,05А-5В);
    • импедансометрии (потенциостат-гальваностат P-40X с модулем измерения электрохимического импеданса FRA-24M);
  • Научно-образовательные услуги:
    • обеспечение основной образовательной программы «Электроника и наноэлектроника». Программа включена в реестр образовательных программ ОАО Роснано;
    • повышение квалификации и подготовка операторов аналитического и технологического оборудования микро- и наноэлектроники. Программа включена в реестр  ОАО Роснано;
    • поддержка спецкурсов отдельных образовательных программ;
    • экспериментальная поддержка курсовых работ, дипломных проектов, кандидатских и докторских диссертаций.